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产品展示
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氧化硅片
产品编号：JAH-SiO2 Wafer
产品产地：
产品描述：氧化硅片,二氧化硅片,氧化硅片厂家
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产品介绍
产品简介：
二氧化硅片是指在硅片表面热生长一层均匀的介质薄膜，用作绝缘、或者掩模材料。氧化工艺包括高温干氧氧化、高温湿氧氧化。公司采用进口先进氧化设备、工艺实现氧化层均匀、准确的生成。
产品特点：
● 氧化层厚度均匀 ● 平整度好 ● 翘曲度小
● 尺寸公差小 ● 表面无光滑无瑕疵
产品规格说明
| 外形尺寸：
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1",2",3",4",5",6",7 ~ 12"
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可定制
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| 型号
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N型/ P型、本征（不掺杂）
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客户要求
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| 直径:
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50 ~ 300mm
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| 总厚度:
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250 ~ 600 μm
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可定制
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| 厚度误差
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±10μm
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| 氧化层厚度
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50nm ~ 2000nm（常规100nm，200nm，300nm，500nm，1000nm）
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客户要求
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| 平整度（TIR）
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< 3 μm
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| 翘曲度（BOW）
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≤15μm
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| TTV:
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≤15μm，30μm
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| 粗糙度
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< 0.5nm
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| 电阻率:
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0.001~ 20000 (Ω·cm)
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客户要求
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| 晶向
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〈100〉；〈110〉；〈111〉
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| 级别
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IC级
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| 表面处理
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单抛，双抛，研磨
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客户要求
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硅片/SOI硅片/氧化硅片
