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产品展示
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蓝宝石晶片
产品编号：2012121372342
产品产地：
产品描述：蓝宝石衬底，蓝宝石基片，蓝宝石晶片，蓝宝石衬底厂家
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产品介绍
产品简介
蓝宝石（Sapphire,又称白宝石，分子式为Al2O3）单晶是一种优秀的多功能材料。它耐高温，导热好，硬度高，透红外，化学稳定性好。广泛用于工业、国防和科研的多个领域（如耐高温红外窗口等）。同时它也是一种用途广泛的单晶基片材料，是当前蓝、紫、白光发光二极管（LED）和蓝光激光器（LD）工业的首选基片（需首先在蓝宝石基片上外延氮化镓薄膜），也是重要的超导薄膜基片。
产品规格说明
1.常规蓝宝石晶片
 
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Crystal Materials
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99,996% of Al2O3,High Purity, Monocrystalline, Al2O3
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Crystal quality
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Inclusions, block marks, twins, Color, micro-bubbles and dispersal centers are non-existent
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Diameter
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2inch
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3inch
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4inch
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5inch ～ 7inch
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50.8± 0.1mm
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76.2±0.2mm
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100±0.3mm
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In accordance with the provisions of standard production
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Thickness
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430±15µm
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550±15µm
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650±20µm
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Can be customized by customer
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Orientation
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C- plane (0001) to M-plane (1-100) or A-plane(1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, R-plane (1-1 0 2), A-plane (1 1-2 0 ), M-plane(1-1 0 0), Any Orientation , Any angle
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Primary flat length
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16.0±1mm
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22.0±1.0mm
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32.5±1.5 mm
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In accordance with the provisions of standard production
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Primary flat Orientation
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A-plane (1 1-2 0 ) ± 0.2°
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TTV
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≤10µm
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≤15µm
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≤20µm
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≤30µm
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LTV
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≤10µm
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≤15µm
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≤20µm
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≤30µm
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TIR
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≤10µm
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≤15µm
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≤20µm
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≤30µm
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BOW
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≤10µm
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≤15µm
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≤20µm
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≤30µm
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Warp
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≤10µm
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≤15µm
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≤20µm
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≤30µm
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Front Surface
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Epi-Polished (Ra< 0.2nm)
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Back Surface
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Fine ground (Ra=0.5 to 1.2 µm), Epi-Polished (Ra< 0.2nm)
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Note
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Can provide high-quality sapphire substrate wafer according to customers' specific requirement
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2. R面蓝宝石晶片
公司根据客户的特殊需求，也另生产R面蓝宝石晶片！
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4寸R面蓝宝石衬底
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项目规格
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尺寸与公差
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单位
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直径
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100±0.3
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mm
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厚度
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500
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µm
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厚度公差
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±20
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µm
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晶向
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R面
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定向精度
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定向精度＜0.08°（5′）
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基准边
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边长：32.5 ± 1.5
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mm
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基准边晶向
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（0ī11）
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定向精度＜0.08°（5′）
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表面粗糙度
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<0.2
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nm
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翘曲度（Warp）
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<20
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µm
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表面处理
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双面抛光
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N/A
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硅片/SOI硅片/氧化硅片
