产品简介
氮化硅的强度很高，尤其是热压氮化硅，是世界上最坚硬的物质之一。它极耐高温，强度一直可以维持到１２００℃的高温而不下降，受热后不会熔成融体，一直到１９００℃才会分解，并有惊人的耐化学腐蚀性能，能耐几乎所有的无机酸和３０％以下的烧碱溶液，也能耐很多有机酸的腐蚀；同时又是一种高性能电绝缘材料。
产品技术参数
|
|
技术参数
|
单位 |
备注 |
| 原料纯度 |
99.0%～99.95%
|
-- |
|
| 尺寸 |
10x10
|
50x50
|
mm |
定制 |
| 厚度 |
1.0
|
1.5
|
1.0
|
1.5
|
mm |
定制 |
| 弯曲强度 |
>600
|
N/mm2 |
|
| 硬度 |
>90
|
HRA |
|
| 最高使用温度 |
1200～1400
|
℃ |
|
| 耐热冲击性 |
>500
|
℃ |
|
| 密度 |
>3.2
|
g/cm3 |
|
| 热导率 |
20-25
|
W.(m.K)-1 |
|
| 介电损耗 |
3～4*10-3
|
-- |
|
| 介电常数 |
8-9
|
--
|
|
| 表面处理 |
毛坯，研磨，单抛，双抛
|
客户要求 |
Si Wafer/SOI Wafer/SiO2 Wafer
